Bruker FilmTek CD橢偏儀

——多模態(tài)臨界尺寸測(cè)量和先進(jìn)薄膜計(jì)量學(xué)

FilmTekTM CD光學(xué)臨界尺寸系統(tǒng)是我們的解決方案，可用于1x nm設(shè)計(jì)節(jié)點(diǎn)及更高級(jí)別的全自動(dòng)化、高通量CD測(cè)量和高級(jí)薄膜分析。該系統(tǒng)同時(shí)提供已知和*未知結(jié)構(gòu)的實(shí)時(shí)多層堆疊特性和CD測(cè)量。

FilmTek CD利用多模測(cè)量技術(shù)來滿足與開發(fā)和生產(chǎn)中最復(fù)雜的半導(dǎo)體設(shè)計(jì)特征相關(guān)的挑戰(zhàn)性需求。這項(xiàng)技術(shù)能夠測(cè)量極小的線寬，在低于10納米的范圍內(nèi)進(jìn)行高精度測(cè)量。

依賴傳統(tǒng)橢圓偏振儀或反射儀技術(shù)的現(xiàn)有計(jì)量工具在實(shí)時(shí)準(zhǔn)確解析CD測(cè)量的能力方面受到限制，需要在設(shè)備研究和開發(fā)期間生成繁瑣的庫。FilmTek CD通過獲得多模態(tài)測(cè)量技術(shù)克服了這一限制，該技術(shù)甚至為*未知的結(jié)構(gòu)提供了精確的單一解決方案。

FilmTek CD包括具有快速、實(shí)時(shí)優(yōu)化功能的專有衍射軟件。實(shí)時(shí)優(yōu)化允許用戶以最小的設(shè)置時(shí)間和配方開發(fā)輕松測(cè)量未知結(jié)構(gòu)，同時(shí)避免與庫生成相關(guān)的延遲和復(fù)雜度。

測(cè)量能力：

·厚度、折射率和光盤計(jì)量
·未知薄膜的光學(xué)常數(shù)表征
·超薄膜疊層厚度
·廣泛的關(guān)鍵尺寸測(cè)量應(yīng)用，包括金屬柵極凹槽、高k凹槽、側(cè)壁角、抗蝕劑高度、硬掩模高度、溝槽和接觸輪廓以及間距行走

系統(tǒng)組件：

典型應(yīng)用包括：

半導(dǎo)體研發(fā)與生產(chǎn)