在現(xiàn)有的無油真空泵當中,無油渦旋真空泵與其他種類的無油真空泵相比具有下述特點:

①. 無油，無摩擦——真空腔內(nèi)無油，非接觸，無磨損，不產(chǎn)生微粒塵埃污染，可獲得清潔真空;

②. 抽氣量大——雙渦旋盤，結(jié)構(gòu)與單級相比相同直徑泵抽氣容積為2倍，節(jié)省能源;

③. 抽氣效率高——帶有3-4個抽氣單元，壓差小;大氣與真空之間由O型圈密封，泄漏低;

④. 非接觸,良好平衡,力矩影響小，噪音低，振動小;

⑤. 結(jié)構(gòu)簡單緊湊，相同尺寸下，運動半徑小，運行平穩(wěn);

⑥. 體積小，維修方便，維護費用低;

⑦. 采用空氣冷卻，無需水冷。

無油渦旋真空泵應用在

①. 半導體行業(yè)——薄膜制備設(shè)備、半導體器件封裝設(shè)備;

②. 科學儀器行業(yè)——同步輻射光束線、電子顯微鏡、分析測試儀器;

③. 機械設(shè)備行業(yè)——材料制備設(shè)備、真空檢測、材料提純設(shè)備;

④. 化學工業(yè);

⑤. 醫(yī)療設(shè)備——牙科儀器、透析機、生物制品與藥品制備;

⑥. 包裝行業(yè)——食品、藥品、生物制品等包裝設(shè)備。

無油渦旋真空泵主要由5個部件組成：

①. 動靜渦旋盤付與基座;

②. 曲軸;

③. 密封墊;

④. 防自轉(zhuǎn)機構(gòu);

⑤.電機。